Roterende mål i metall

Det roterende målet er et magnetronmål.Målet er laget av en sylindrisk form med en stasjonær magnet inni, som roterer med lav hastighet.

─ Alt ───────

Materiale: W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl

MOQ: 3 stykker

Bruksområde: Solceller, Arkitektonisk glass, Autoglass

ETTERSPØR ET SITAT

Produkt detalj

Produktetiketter

produktbeskrivelse

Roterende mål i metall

Ortogonale magnetiske og elektriske felt påføres mellom sputtermålet (katoden) og anoden.Og fyll den nødvendige inertgassen (vanligvis Ar-gass) i høyvakuumkammeret.Under påvirkning av et elektrisk felt ioniseres Ar-gass til positive ioner og elektroner.En viss negativ høyspenning påføres målet, elektronene som sendes ut av målet påvirkes av magnetfeltet, ioniseringssannsynligheten for arbeidsgassen øker, et plasma med høy tetthet dannes nær katoden, og Ar-ionene påvirkes av Lorentz-styrken.Akselerer deretter for å fly til måloverflaten, og bombarder måloverflaten i høy hastighet, slik at de sputterede atomene på målet følger prinsippet om momentumkonvertering, flyr fra måloverflaten til substratet og avsetter en film med høy kinetisk energi.

For ytterligere å forbedre utnyttelsesgraden av målmaterialet, er det utformet en roterende katode med høyere brukseffektivitet, og et rørformet målmateriale brukes til sputtering.Forbedringen av sputterutstyr krever at målet endres fra en flat form til en rørformet form, og utnyttelsesgraden til det rørformede roterende målet kan være så høy som 70 %, noe som i stor grad løser problemet med lav utnyttelse av det flate målet.

Produktnavn	Roterende mål i metall
Materiale	W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl
Hot salgsstørrelse	ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855 mm ID-160/OD-180x1800mm Kan også behandles i henhold til kundenes spesifikke krav
MOQ	3 stykker
Pakke	Ply trekasse

Merk: Vi produserer hovedsakelig forskjellige metallmål, vennligst kontakt oss for detaljer.

applikasjon

Sputtering belegg er en ny type fysisk dampbeleggmetode.Sammenlignet med fordampningsbeleggmetoden har den åpenbare fordeler
i mange aspekter.Metallsprutmål har blitt brukt på mange felt.Hovedapplikasjonen for roterende mål.
■Solceller
■Arkitektonisk glass
■Bilglass
■Halvleder
■Flatskjerm-TV osv

BESTILLINGSINFORMASJON

Forespørsler og bestillinger bør inneholde følgende informasjon:
☑Målspesifikasjon ID×OD×L (mm).
☑Antall påkrevd.
☑Ta kontakt med oss for mer spesielle behov.